1981年，考入合肥工業大學，先后獲得學士、碩士學位。
1998年，獲得北京航空航天大學博士學位。
2000年，被聘為中國科學院微電子研究所研究員和納米加工與新器件集成技術研究室主任。
2018年，出任中國科學技術大學國家示范性微電子學院院長。
2022年08月11日，擔任中芯國際董事會審計委員會成員。
2015年，當選中國科學院院士。
2017年03月08日，榮獲中國科學院第五屆“十大杰出婦女”榮譽稱號。
2018年，當選為發展中國家科學院院士。
2007年，項目《中高頻聲表面波關鍵材料及技術研究》榮獲“國家技術發明二等獎”。
2009年，項目《移動通訊用濾波器關鍵技術及產業化》榮獲“國家科技進步二等獎”。
2010年，項目《微納結構‘自上而下’制備核心技術與集成應用》榮獲“北京市科學技術一等獎”。
2013年，項目《高精度微納結構掩模制造核心技術》榮獲“國家技術發明二等獎”。
2014年，項目《阻變存儲器及集成的基礎研究》榮獲“北京市科學技術二等獎”。
