沈陽科儀

中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司（以下簡稱“公司”）創建于1958年，公司總部位于遼寧省沈陽市渾南區，占地面積110畝，建筑面積3.5萬平方米。多年來，公司專注于高真空、超高真空、超潔凈真空技術的研究和發展，是我國集成電路裝備和真空儀器設備的研制、生產基地，先后組建“國家分子束外延技術開發實驗基地”、“國家真空儀器裝置工程技術研究中心”和“真空技術裝備國家工程研究中心”等科研平臺。

公司主要從事干式真空泵、真空儀器設備的研發、生產和銷售，并提供相關技術服務。公司產品主要包括系列羅茨干泵、系列渦旋干泵、大科學裝置、真空薄膜儀器設備和新材料制備設備等。公司承擔了國家“863計劃”、“02專項”、“國家重點研發計劃”等國家級科技專項，并通過自主研發創新實現了國產干式真空泵在集成電路領域的批量應用，打破了歐美及日本企業對同類產品的長期壟斷，實現了關鍵裝備的進口替代。公司長期致力于高端科研儀器設備的研發制造，為我國重大科技基礎設施的建設發展做出貢獻。在真空鍍膜領域，公司研發形成了磁控濺射、離子束濺射、電子束蒸發、高溫真空無油潤滑、高性能高穩定性束源爐、復合鍍膜等多項技術。通過多年的研發創新，公司現已開發完成第六代分子束外延設備。

公司先后獲得國家科技進步獎6項，中國科學院及省部級科技進步獎20項，擁有專利71項，被認定為國家第二批專精特新“小巨人”企業、國家高新技術企業、國家知識產權優勢企業、遼寧省技術創新示范企業、遼寧省創新型中小企業、遼寧省省級企業技術中心等。

公司設立有2個全資子公司——上海上凱儀真空技術有限公司、中科儀（南通）半導體設備有限責任公司；1個分公司——中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司上海分公司。