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        ITO靶材是什么材料 ITO靶材應用領域

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        摘要:ITO靶材是什么材料?ITO靶材是濺射靶材中的一種,全稱為氧化銦錫靶材,是氧化銦和氧化錫的混合物。在所有其他透明導電氧化物中,氧化銦錫因其卓越的導電性、光學透明度和高穩定性而被廣泛選擇。在光電子行業,它主要用于覆蓋半導體傳感器布線,并制造各種光電設備和組件,如液晶顯示器、有機發光二極管、等離子顯示器和觸摸屏。

        一、ITO靶材是什么材料

        ITO靶材,全稱為氧化銦錫靶材,是電子信息工業領域的關鍵材料之一。氧化銦錫(英文全稱為Indium Tin Oxide,簡稱“ITO”),由氧化銦和氧化錫粉末按照一定比例混合后,經過一系列的生產工藝加工成型,再高溫燒結形成的黑灰色陶瓷半導體材料。薄薄的氧化銦錫在可見光范圍內呈現透明狀。不過在紅外光線下,氧化銦錫層起著不透明的作用,反射紅外線。

        氧化銦錫作為一種n型半導體材料,具有高的導電率、優異的可見光透過率、較強的機械硬度和良好的化學穩定性,主要用于制作液晶顯示器、平板顯示器、等離子顯示器、觸摸屏、電子紙、有機發光二極管、太陽能電池、抗靜電鍍膜、EMI屏蔽的透明傳導鍍、各種光學鍍膜等。

        ITO靶材是濺射靶材中的一種,主要通過磁控濺射將ITO靶材氣化,濺鍍到玻璃基板或柔性有機薄膜上,制造成ITO薄膜,后者為透明導電氧化物薄膜,厚度一般為30-200納米。

        二、ITO靶材應用領域

        1、平板顯示器(純度5N)

        在平板顯示領域,ITO靶材主要用于制作ITO導電玻璃及觸控屏電極平板,是LCD、PDP、OLED、觸摸屏等各類平板顯示器件制備的核心材料。顯示面板一般涉及上下兩層ITO導電膜,用量較大,ITO靶材是平板顯示領域用量最大的靶材之一。

        ITO導電膜玻璃按電阻分為:高電阻玻璃(電阻范圍在150~500歐姆)、普通玻璃(電阻范圍在60~150歐姆)、低電阻玻璃(電阻范圍小于60歐姆)。其中高電阻玻璃一般用于靜電防護、觸控屏幕制作用;普通玻璃一般用于TN類液晶顯示器和電子抗干擾;低電阻玻璃一般用于STN、TFT液晶顯示器和透明線路板。

        LCD面板組件總厚度不到1公分,內部包含20多項材料及元件。不同類型LCD所需材料不盡相同,但基本結構類似,即在ITO導電膜玻璃內夾著彩色濾光片、偏光板、配向膜等材料,灌入液晶材料,后封裝成一個液晶盒。因此,ITO導電膜玻璃作為LCD面板的關鍵基礎材料,約占LCD面板材料成本的30%,而ITO靶材約占導電玻璃成本的20%。

        2、薄膜太陽能電池(純度4N)

        ITO是一種透明導電層,在太陽能電池中作為透光層,同時作為電極,一般為正極,另一個電極一般以金屬銀或鋁作為背電極使用。ITO靶材主要用于生成太陽能薄膜電池的背電極,主要需求為方形板狀靶材。

        3、保溫透光領域

        ITO透明導電膜玻璃作為面發熱體,通電后可以除冰霜,用于飛機擋風玻璃、飛機眩窗、激光測距儀、潛望鏡觀察窗等,多年來已得到了廣泛的應用。ITO透明導電膜玻璃正反面具有相反的紅外線通過及反射性能,玻璃正面具有優良的紅外線通過性,衰減量極小,而反面又具有紅外線阻擋反射作用,因而該種玻璃具有優良的保溫透光性能,已大量用于制造冷藏柜,隨著成本的降低將有望用于房屋節能。

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