一、濺射靶材是否屬于稀缺資源
稀有金屬，通常指在自然界中含量較少或分布稀散的金屬，它們難于從原料中提取，在工業上制備和應用較晚，但在現代工業中有廣泛的用途。中國稀有金屬資源豐富，如鎢、鈦、稀土、釩、鋯、鉭、鈮、鋰、鈹等已探明的儲量，正在逐步建立稀有金屬工業體系。
稀有輕金屬：包括鋰Li、銣Rb、銫Cs、鈹Be。比重較小，化學活性強。
稀有難熔金屬：包括鈦、鋯、鉿、釩、鈮、鉭、鉬、鎢。熔點較高，與碳、氮、硅、硼等生成的化合物熔點也較高。
稀有分散金屬：簡稱稀散金屬，包括鎵、銦、鉈、鍺、錸以及硒、碲。大部分賦存于其他元素的礦物中。
稀有稀土金屬：簡稱稀土金屬，包括鈧、釔及鑭系元素。它們的化學性質非常相似，在礦物中相互伴生。
稀有放射性金屬：包括天然存在的鈁、鐳、釙和錒系金屬中的錒、釷、鏷、鈾，以及人工制造的锝、钷、錒系其他元素和104至107號元素。
上述分類不是十分嚴格的。有些稀有金屬既可以列入這一類又可列入另一類。例如錸可列入稀散金屬也可列入稀有難熔金屬。但是從上述描述中不難看出，有些特殊應用的濺射靶材的金屬成分的確屬于稀缺資源。
二、貴金屬靶材可以回收再利用嗎
貴金屬靶材是可以回收再利用的，在加程中打穿的靶材或殘料什么都是可以回收再利用的。比如金靶材、銀靶材、鈀靶材等都可以回收再利用。以ITO銀靶材為例，生產加工時銀靶材會被打穿，產生的絲狀殘料這些都是可以回收再利用的，廢料上會沾染少量的銦，說是氧化用的，這種銦元素處理一下就可以了。所以含金、銀、鈀、鉑、銠這些貴金屬的靶材都可以回收再利用的，還有合金靶材之類的。
