一、光刻膠的優(yōu)缺點(diǎn)
光刻膠作為芯片制造中的一種重要材料，具有以下優(yōu)點(diǎn)：
1、精度高。光刻膠可以在芯片表面形成微米級(jí)別的圖案，具有非常高的精度和穩(wěn)定性。
2、適用范圍廣。光刻膠可以適用于不同類(lèi)型的芯片材料，包括硅片、玻璃、陶瓷等。
3、加工速度快。光刻膠可以在短時(shí)間內(nèi)完成芯片表面的加工和處理，提高了生產(chǎn)效率。
但光刻膠也存在一些缺點(diǎn)，主要包括以下幾點(diǎn)：
1、成本較高。光刻膠的制備和加工過(guò)程較為復(fù)雜，成本較高。
2、對(duì)環(huán)境有一定污染。光刻膠的制備和加工過(guò)程會(huì)產(chǎn)生一定的污染物，對(duì)環(huán)境有一定影響。
3、對(duì)人體有一定危害。光刻膠中含有一定的有毒物質(zhì)，對(duì)人體有一定危害。
二、光刻膠的危害及防護(hù)
危害：光刻膠是一種乙類(lèi)危險(xiǎn)品，無(wú)色透明液體，有微弱類(lèi)似芳香酯的氣味。高濃度蒸汽刺激眼和呼吸道，經(jīng)常吸入對(duì)腎臟有損傷。易燃，遇明火、高熱能燃燒。受高熱分解放出有毒的氣體。其蒸氣與空氣可形成爆炸性混合物，當(dāng)達(dá)到一定濃度時(shí)，遇火星會(huì)發(fā)生爆炸。
急救措施：應(yīng)使吸入蒸氣的患者脫離污染區(qū)。安置休息并保暖，眼睛受刺激用水沖洗，對(duì)濺入眼內(nèi)的嚴(yán)重患送醫(yī)院診治。皮膚接觸用溶劑擦洗，再用肥皂徹底洗滌。誤服立即漱口，送醫(yī)院救治。
消防方法：消防人員必須佩戴過(guò)濾式防毒面具（全面罩）或隔離式呼吸器，穿全身防火防毒服，在上風(fēng)向滅火。盡可能將容器從火場(chǎng)移至空曠處。噴水保持火場(chǎng)容器冷卻，直至滅火結(jié)束。處在火場(chǎng)中的容器若已變色或從安全泄壓裝置中產(chǎn)生聲音，必須馬上撤離。滅火劑：霧狀水、泡沫、干粉、二氧化碳、砂土。
泄漏應(yīng)急處理：迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至安全區(qū)，并進(jìn)行隔離，嚴(yán)格限制出入。切斷火源。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般作業(yè)工作服。若是液體，盡可能切斷泄漏源。防止流入下水道、排洪溝等限制性空間。小量泄漏：用干燥的砂土或類(lèi)似物質(zhì)吸收。大量泄漏：構(gòu)筑圍堤或挖坑收容。用泡沫覆蓋，降低蒸氣災(zāi)害。用防爆泵轉(zhuǎn)移至槽車(chē)或?qū)Ｓ檬占鲀?nèi)，回收或運(yùn)至廢物處理場(chǎng)所處置。若是固體，收集于干燥、潔凈、有蓋的容器中。若大量泄漏，收集回收或運(yùn)至廢物處理場(chǎng)所處置。
操作注意事項(xiàng)：密閉操作。密閉操作，提供良好的自然通風(fēng)條件。操作人員必須經(jīng)過(guò)專(zhuān)門(mén)培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴自吸過(guò)濾式防塵口罩，戴化學(xué)安全防護(hù)眼鏡。遠(yuǎn)離火種、熱源，工作場(chǎng)所嚴(yán)禁吸煙。使用防爆型的通風(fēng)系統(tǒng)和設(shè)備。防止蒸氣泄漏到工作場(chǎng)所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運(yùn)時(shí)要輕裝輕卸，防止包裝及容器損壞。配備相應(yīng)品種和數(shù)量的消防器材及泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。倒空的容器可能殘留有害物。
