一、什么是探針臺
探針臺（Probe Station）是一種用于對半導體器件進行電性能測試的重要設備。它通常由精密的機械結構、高性能的探針針頭和電性能測試儀器組成。探針臺可以對半導體芯片、集成電路和其他微電子器件進行直接的電性能測試，從而為研究和生產提供有價值的信息。
二、探針臺的分類有哪些
一般根據用戶測試樣品、測試環境、應用類別、產品級別以及操作方式分類，如下：
1、按測試樣品分類，可分為：晶圓測試探針臺、LED測試探針臺、功率器件測試探針臺、MEMS測試探針臺、PCB測試探針臺、液晶面板測試探針臺、太陽能電池片測試探針臺、材料表面電阻率測試探針臺、納米器件測試探針臺。
2、按應用及測試環境分類，可分為：高頻、射頻及微波測試探針臺、高/低溫環境測試探針臺、高/低溫真空環境測試探針臺、低電流（fA級）測試探針臺、IC/IV/p-IV測試探針臺、高壓、大電流測試探針臺、特殊氣體環境測試探針臺、磁場環境測試探針臺、雙面點針測試探針臺、全封閉式探針臺（非真空環境）。
3、按級別分類可分為：簡易型探針臺、標準型探針臺、分析型探針臺、高端型探針臺。
4、按操作方式可分為：手動型、半自動型、全自動型。
5、按特殊應用測試分為：非標準類結構測試探針臺。
