一、電化學原理
利用氣體在電化學傳感器上發生氧化還原反應，從而產生電流。在傳感器內部，有兩個電極，分別為工作電極和對電極，中間通過電解質隔開。當臭氧氣體進入傳感器后，在工作電極上發生氧化反應，失去電子，而在對電極上發生還原反應，得到電子，從而形成電流。電流的大小與臭氧的濃度成正比關系，通過測量電流的大小就可以得出臭氧的濃度。這種原理的臭氧檢測儀具有精度高、穩定性好、響應速度快等優點，常用于環境監測、工業生產等領域。
二、紫外吸收原理
臭氧對紫外線具有強烈的吸收特性，其吸收程度符合朗伯 - 比爾定律。當紫外線通過含有臭氧的氣體時，部分紫外線被臭氧吸收，通過測量紫外線被吸收后的強度變化，就可以計算出臭氧的濃度。基于該原理的臭氧檢測儀通常采用紫外光源和光電探測器，具有測量范圍寬、精度高、不受其他氣體干擾等優點，常用于大氣環境監測、空氣質量檢測等領域。
三、半導體原理
利用半導體材料對臭氧氣體的吸附和反應特性來檢測臭氧濃度。半導體傳感器通常由金屬氧化物半導體材料制成，如二氧化鈦、氧化鋅等。當臭氧氣體吸附在半導體材料表面時，會與材料表面的氧離子發生反應，導致半導體材料的電阻發生變化。通過測量電阻的變化來間接測量臭氧的濃度。這種原理的臭氧檢測儀具有結構簡單、成本低、體積小等優點，但精度相對較低，易受其他氣體干擾。
四、化學發光原理
某些化合物與臭氧發生化學反應時會產生發光現象，發光強度與臭氧濃度成正比。通過檢測發光強度來確定臭氧的濃度。這種方法具有靈敏度高、選擇性好等優點，但儀器結構相對復雜，常用于科研和高精度檢測領域。
