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        IGBT生產工藝流程 igbt生產設備有哪些

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        摘要:IGBT芯片的生產流程包括晶圓生產、芯片設計、芯片制造三個步驟,一般IGBT芯片還要通過器件封裝制成IGBT模塊或IGBT單管后再投入使用。生產IGBT需要用到的設備有很多,主要有真空焊接爐、一次邦線機、二次邦線機、推拉力測試機、成品動態測試機、高溫烘箱、氮氣烘箱、清洗臺、DBC靜態測試機等。下面一起來詳細了解一下IGBT生產工藝流程以及igbt生產設備有哪些吧。

        一、IGBT生產工藝流程

        IGBT在新能源汽車等領域應用廣泛,IGBT的生產能力對于整個上下游產業的影響非常大,那么IGBT是怎么生產的呢?

        據了解,IGBT的生產流程主要包括四個步驟:

        1、晶圓生產

        包含硅提煉及提純、單晶硅生長、晶圓成型三個步驟,國際主流是8英寸晶圓,部分晶圓廠12英寸產線逐步投產,晶圓尺寸越大,良品率越高,最終生產的單個器件成本越低,市場競爭力越大。

        2、芯片設計

        IGBT制造的前期關鍵流程,主流的商業化產品基于Trench-FS設計,不同廠家設計的IGBT芯片特點不同,表現在性能上有一定差異。

        3、芯片制造

        IGBT芯片制造高度依賴產線設備和工藝,全球能制造出頂尖光刻機的廠商不足五家;要把先進的芯片設計在工藝上實現有非常大的難度,尤其是薄片工藝和背面工藝,目前這方面國內還有一些差距。

        4、器件封裝

        器件生產的后道工序,需要完整的封裝產線,IGBT模塊的封裝流程一般是:芯片和DBC焊接綁線→DBC和銅底板焊接→安裝外殼→灌注硅膠→密封→終測。

        二、igbt生產設備有哪些

        IGBT的生產需要用到很多生產設備,主要有:

        真空焊接爐、X-Ray、一次邦線機、二次邦線機、推拉力測試機、超聲波掃描、等離子清洗、成品動態測試機、高溫烘箱、氮氣烘箱、清洗臺、DBC靜態測試機、半成品靜態測試機、點膠機、弧度測試、超聲波焊接、灌膠機、打標機、高溫反偏、絕緣測試、成品靜態測試機、超聲波清洗機。

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